CVDシステムは給気システム+管式炉+抽気システムであり、最高温度は1200度、1400度、1600度、1700度に達することができ、加熱区間は単温区、双温区、三温区などであり、限界真空は10-3 Paに達することができ、給気システムは流量調節はプロトン流量計またはフロート流量計であり、混合気路数は2路、3路、4路、5路の混合であることができる。
KTL-CVD-1400単温域CVDシステムは、3ウェイガス供給システム+KTL 1400管式炉+真空システムからなる。
(1)、シリコンモリブデン棒の熱端粗さD 1は7 mmで、一般メーカーが採用した6 MM、加熱端が太く、曲がりにくく、棒の表面負荷が低く、耐用年数が長い。
(2)、採用したのは熱曲げ技術で、抵抗が均一で、使用寿命が長い
(3)、Lu冷端長は210 mm、400 X 300 X 300炉は260、一般メーカーは180 mmを採用し、冷端長炉頂温度は低い。
(4)、シリコンモリブデン棒の表面酸化アモルファス膜が緻密であり、シリコンモリブデン棒を比較的に良好に保護することができる。
回路が過電流または漏電した場合、空の会議は自動的に切断される
この雰囲気管式炉可通信インタフェースとソフトウェアを備え、コンピュータを通じてストーブの各パラメータを直接制御することができ、そしてコンピュータからストーブ上のPVとSV温度値と計器の運行状況を観察することができ、ストーブの実際の昇温曲線コンピュータはリアルタイムに描出され、各時刻の温度データを保存することができ、いつでも呼び出すことができる
(1)、真空吸引ろ過成形の良質高純度アルミナ多結晶繊維硬化炉。
(2)、日本技術を用いて成形する。
(3)、炉内材料の熱容量が低く、熱伝導係数が低いため、放熱が少なく、保温がよく、反射率が高い。温度場の均衡。
(4)、炉内アルミナ糸は細く長く、耐温性が高く、熱膨張と冷縮に強い
(5)、炉の表面がつやつやしていて、粉が落ちにくい。
(すべてUL認証を取得した輸入機器)